Mit dem UL6000 Fab PLUS von INFICON wird Dichtheitsprüfung in der Halbleiterfertigung noch schneller
+++ Der UL6000 Fab PLUS von Inficon erlaubt die schnellstmögliche Dichtheitsprüfung an Vakuumfertigungsanlagen für Halbleiter-Chips, Solarzellen oder Flachbildschirme.
+++ Die neue „I∙RISE“-Funktion beschleunigt die Druckanstiegsmessung, die sich an jede Leckortung mit dem UL6000 Fab PLUS anschließt, von vielen Minuten auf wenige Sekunden.
+++ Auch durch seine leistungstarken Pumpen reduziert das neue Gerät Fertigungsunterbrechungen bei Wartungen auf das absolute Minimum.
+++ So amortisiert sich das mobile Dichtheitsprüfgerät von Inficon oft innerhalb weniger Einsätze.
Köln, 05. Juli 2022 +++ Die INFICON GmbH aus Köln, einer der weltweit führenden Hersteller von Instrumenten und Geräten für die Dichtheitsprüfung, stellt die jüngste Generation mobiler Dichtheitsprüfgeräte für Vakuumanlagen vor, in denen etwa Halbleiter-Chips, Solarzellen und Flachbildschirme gefertigt werden. Die neue Version UL6000 Fab PLUS steigert die Geschwindigkeitsbestmarke des normalen UL6000 Fab durch ein weiteres Highlight: die neue, intelligente I∙RISE Funktion. An eine Leckortung und -beseitigung schließt sich immer eine integrale Dichtheitsprüfung der Anlage mit einer Druckanstiegsmessung an. Der UL6000 Fab PLUS übernimmt jetzt beides: die Leckortung und die Druckanstiegsmessung. I∙RISE hat dabei einen riesigen Geschwindigkeitsvorteil.
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Bildempfehlung
Der UL6000 Fab PLUS prüft die Dichtheit von Halbleiter-Vakuumfertigungsanlagen in Rekordzeit. (Quelle: Inficon)
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