INFICON UL3000 Fab ULTRA spart in der Halbleiterbranche wertvolle Zeit und Geld

+++ Der neue Inficon UL3000 Fab ULTRA sorgt bei der Halbleiter-Fertigung für viel schnellere Dichtheitsprüfungen.

+++ Das neue Modell „ULTRA“ verwendet als Vorpumpe statt einer Scrollpumpe eine sehr leistungsfähige Klauenpumpe.

+++ Gerade bei großer Produktionsausrüstung reduziert dies den Fertigungsstillstand aufgrund der Prüfung sehr deutlich.

+++ Für Halbleiterhersteller amortisiert sich der Anschaffungspreis des Geräts darum innerhalb von Minuten: durch die kürzere Fertigungsunterbrechung.


Köln, 22. Juni 2020 +++ Die INFICON GmbH aus Köln, einer der weltweit führenden Hersteller von Instrumenten und Geräten für die Dichtheitsprüfung, hat mit dem „UL3000 Fab ULTRA“ die neueste Generation seiner schlanken, mobilen Dichtheitsprüfgeräte vorgestellt. INFICON hat das Gerät für die speziellen Anforderungen von Anlagen für die Fertigung von Halbleiter-Chips, Solarzellen und Flachbildschirmen, für Glas- und Folienbeschichtung sowie für Vakuumanlagen weiterentwickelt. Das Gerät nutzt die Vakuummethode mit Helium als Prüfgas, um kleinste Undichtigkeiten sicher zu detektieren. Der neue UL3000 Fab ULTRA ersetzt die Scrollpumpe aus älteren Modellen mit einer äußerst leistungsfähigen Klauenpumpe. Mit dieser überlegenen Vorpumpe evakuiert der UL3000 Fab ULTRA zu prüfende Produktionsausrüstung deutlich schneller – gerade wenn diese sehr groß ist. Durch sein hohes Pumpvermögen (bis zu 36 m³ pro Stunde) besonders im relevanten Druckbereich (Normaldruck bis hinab zu 1 mbar) reduziert das Gerät die Evakuierungszeit und damit die Stillstandszeit in der Produktion auf entscheidende Weise. Bei einem Halbleiterhersteller etwa amortisiert sich der gesamte Anschaffungspreis des Geräts dank des schnelleren Prüfprozesses schon innerhalb von Minuten: durch die kürzere Fertigungsunterbrechung. Ein weiterer Vorzug des neuen UL3000 Fab ULTRA ist, dass die wartungsarme Klauenpumpe die Betriebskosten reduziert.

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Bildempfehlung

Dank seiner Geschwindigkeit amortisiert sich der neue Inficon UL3000 Fab ULTRA innerhalb von Minuten. (Quelle: Inficon)

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