INFICON setzt mit dem UL6000 Fab Bestwerte für die Dichtheitsprüfung in der Halbleiterbranche

+++ Der neue Inficon UL6000 Fab absolviert Dichtheitsprüfungen an Hableiter-Fertigungsanlagen in Rekordzeit – oft amortisiert er sich so innerhalb weniger Einsätze.

+++ Seine einzigartige Booster-Turbomolekularpumpe fördert Helium mit mehr als 36 l in der Sekunde.

+++ Gerade bei großen Produktionsanlagen mit 50 bis 1.000 l Volumen oder mehr verkürzt das Gerät jede Prüfung entscheidend.

+++ Der UL6000 Fab benutzt Helium-Prüfgas und detektiert selbst kleinste Lecks bis hinab zu 5 E-12 mbar∙l/s völlig zuverlässig.


Köln, 1. September 2021 +++ Die INFICON GmbH aus Köln, einer der weltweit führenden Hersteller von Instrumenten und Geräten für die Dichtheitsprüfung, hat mit dem UL6000 Fab die neueste Generation seiner mobilen Dichtheitsprüfgeräte für großvolumige Fertigungsanlagen in der Halbleiterbranche vorgestellt. INFICON hat das mobile Gerät ebenso für den Einsatz bei der Fertigung von Halbleiter-Chips entwickelt wie für Produktionsanlagen für Solarzellen, Flachbildschirmen, Glas- und Folienbeschichtung sowie für Vakuumanlagen generell. Wie sein Vorgänger UL5000 nutzt auch das neue Gerät die Vakuummethode mit Helium als Prüfgas. Die einzigartige Booster-Turbomolekularpumpe des UL6000 Fab fördert Helium mit mehr als 36 l in der Sekunde. Dieses herausragende Heliumsaugvermögen führt dazu, dass das Gerät extrem schnell anspricht, mit sehr kurzen Anstiegs- und Abfallzeiten. Als Vorpumpe zur Grobevakuierung dient eine leistungsfähige Rootspumpe mit einem Luftsaugvermögen von 36 m³ pro Stunde. Auch die Sensitivität des UL6000 Fab ist unübertroffen: Er detektiert selbst kleinste Lecks bis hinab zu einer Größe von 5 ∙ 10‑12 mbar∙l/s völlig zuverlässig. All dies macht den UL6000 Fab zum schnellsten und empfindlichsten Dichtheitsprüfsystem am Markt. Bei Halbleiterherstellern beispielsweise amortisiert sich das neue Dichtheitsprüfgerät dank seiner Geschwindigkeit innerhalb weniger Einsätze: weil es Fertigungsunterbrechungen – etwa bei einer Regelwartung – entscheidend verkürzt.

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Der neue UL6000 Fab von Inficon absolviert Dichtheitsprüfungen in der Halbleiterfertigung in Rekordzeit. (Quelle: Inficon)

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