3D-Micromac stellt selektives Laser-Annealing-System microVEGA xMR für die Magnet-Sensor-Fertigung vor

+++ Die 3D-Micromac AG hat mit microVEGA xMR das weltweit erste industrielle Produktionssystem für selektives Laser-Annealing in der Magnet-Sensor-Fertigung entwickelt.

+++ Das microVEGA xMR-System steigert die Kosteneffizienz in der Fertigung monolithisch integrierter Sensorchips beträchtlich.

+++ Die im microVEGA xMR-System eingesetzte Technologie gestattet eine höhere Packungsdichte auf dem Wafer bei gleichzeitig verbesserter Sensor-Qualität.

+++ TMR-Sensoren-Produzent Crocus Technology hat ein microVEGA xMR-System bereits erfolgreich im Einsatz und konnte damit die Produktivität signifikant erhöhen.


Chemnitz, 25. November 2020 +++ Die 3D-Micromac AG, international führender Anbieter für Systeme in der Lasermikrobearbeitung und Rolle-zu-Rolle-Laserbearbeitung, stellt das erste industrielle Produktionssystem für selektives Laser-Annealing in der Magnet-Sensor-Fertigung vor. Mit der microVEGA xMR lassen sich sowohl GMR (Giant Magnetoresistance)- als auch TMR (Tunnel Magnetoresistance) Sensoren bearbeiten. Die Vorteile des microVEGA xMRSystems liegen in einer sehr kosteneffizienten Fertigung monolithisch integrierter Sensorchips in nur einem Produktionsschritt. Dies wird möglich durch den Einsatz eines On-the-Fly-Laserspots, der in Geometrie und Pulsenergie flexibel an verschiedene Magnetsensoren adaptierbar ist. Die Anpassung an Sensor-Positionen und -Abmessungen sowie verschiedene Magnetfeldorientierungen ist allein durch Ändern von Rezepten möglich. All dies macht das Laser-Pinning-System von 3D-Micromac zu einem idealen Werkzeug für die Magnet-Sensor-Bearbeitung. Bei Crocus Technology, dem führenden Hersteller von TMRSensoren, ist ein microVEGA xMR-System bereits erfolgreich im Einsatz. Das kalifornische Unternehmen konnte damit die Produktivität in seiner Fertigung signifikant steigern.

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Bildempfehlung

Tunnel Magnetoresistance (TMR)-Sensorwafer prozessiert mit dem selektiven Laser-Annealing- System microVEGA xMR der 3D-Micromac AG. (Quelle: 3D-Micromac AG)

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 Das Laser-Annealing-System microVEGA xMR der 3D-Micromac AG. (Quelle: 3D-Micromac AG)

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